“肯定是光源问题！”
听到这话，已经拍好队伍的胡明镇和章钕京，几乎同时说出一致的原因判断。
而这些数据对于刘教授等人来说，已经是非常高的合格数据。在他们看来，即便是从米国或者岛国进口的光刻机，也不能做到这么高的成品率。
更何况，刘教授等人所能接触到的光刻机，都是国外淘汰的二手光刻机，而且都是一代、二代接触式光刻机。
见识不够，眼界不同，看到的结果就相差非常大。
“老胡、老章，刚才汇报的数据很不错，你们两面对镜头笑一个！”刘教授侧过脸，招呼胡明镇和章钕京。
胡明镇瞥了瞥嘴唇，朝章钕京苦笑一下，“先拍照吧。等一下你再做实验，把问题的原因找出来。”
“只能这么办喽！”章钕京会意的点头。
随着一阵咔嚓咔嚓的声响，胡明镇和章钕京两人的苦笑被定格在这次合影留念的照片上。
刚刚完成合影留念仪式，章钕京就朝手下的技术员大吼一声，“小李，你立即启动紧急风冷装置，给激光光路系统降降温。”
听到这话，郝宁教授一皱眉，“老章，你的意思是激光发生器的温度过高，激光粒子出现不稳定的情况？”
章钕京没说话，微微点头，皱着眉头朝光刻机的工作站走去。
胡明镇的表情跟他一样，此时也很严肃。
他们这帮人表现的如此严肃，这让刘教授等人感到很诧异，“现在的数据非常好啊，老胡他们为甚不开心？”
揣着这种狐疑，刘教授、单教授和董教授等一帮院士级的专家们都收敛笑容，跟在胡明镇等人的身后一起去观看电脑显示屏上的数据。
此时此刻，这台光刻机已经完成了第五片硅晶圆片的光刻工序，激光头正在挪动，朝另外一个工作台横移而去。
“老师你看，激光粒子的强度上来了。”这时，正在操作工作站的技术员指着电脑屏幕惊喜的汇报数据。
激光粒子的强度会直接影响光刻工序的成品率，忽高忽低的情况一般都不允许出现。
“老郝，还是你激光发生器出了问题！”看到这一幕，胡明镇侧过脸来提醒郝宁教授。
郝宁教授的眉头不禁一皱，“是这个道理，但我们目前只能做到这种精度了。”
他告诉胡明镇，影响激光发生器的因素有很多，仅仅卤化物的纯净度这方面就会产生N种激光粒子。更别说激光发生器的机械材料、机械加工精度、机械装配精度等等，都会影响激光粒子的强度。
“长见识喽！难怪我们国家在激光发生器领域跟老外的差距那么大。”
“所以说，我们眼前的这台光刻机所蕴含的技术要远超我们的预想。”
“我认为咱们现在就可以下论断总结，判定这台KrF光刻机研发成功。”
“我同意老单的意见。”
听完郝宁教授的解释，刘教授、单教授、董教授等人反而比较高兴，在光刻室里就已经拿出此次论证审核的初步预判。
在他们看来，胡明镇的团队能做到这一步已经非常成功了。
这台光刻机的项目所取得的成绩，要远远大于项目本身的意义。
然而此时，胡明镇却微皱着眉头跟章钕京商量，“老章，我认为你还要增加两个批次的流片工程测试。”
“对，一个是高功率消耗的模式做光刻实验，一个是平常额定功率模式做光刻实验。”
“那实验经费怎么办？”胡明镇有些愁眉不展。
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